有机膜蒸镀方法
2020-01-06

有机膜蒸镀方法

一种有机膜蒸镀方法,具有:用站立在转台上边的至少3根样品支持针支持已形成了闪烁体的基板的第1工序;把支持基板的转台导入CVD装置的蒸镀室内的第2工序;向已导入到蒸镀室内的形成了闪烁体的基板的闪烁体和基板的整个面上,用CVD法蒸镀有机膜的第3工序。

附图的简单说明图1是本发明的实施例的聚对二甲苯蒸镀装置的构成图。

另外,在这种情况下,蒸镀室3内维持13Pa的真空度。此外,转台3c以4rpm的速度旋转,以便能均一地蒸镀第1聚对二甲苯膜14。此外,多余的聚对二甲苯从排出口3b排出,导入到具有进行防臭、冷却的冷却室4和真空泵的排气系统5内。

然而,作为用来使闪烁体免受湿气影响的防湿屏障,虽然可以使用聚对二甲苯膜,但是该聚对二甲苯膜要用CVD法(化学气相淀积法)进行蒸镀。在这里,在用CVD法蒸镀聚对二甲苯膜的情况下,在把已形成了闪烁体的基板放置到平板状的蒸镀台或网状的蒸镀台上的状态下,把蒸镀台放入到蒸镀装置的蒸镀室内,进行聚对二甲苯膜的蒸镀。

图6是本发明的实施例的样品支持体的变形例。

此外,在上述的实施例中,作为基板10虽然使用的是Al制的基板,但从只要是X射线透过率良好的基板即可可知,也可以使用无定形炭制的基板和C(石墨)制的基板等以炭为主成分的基板、Be制的基板、SiC制的基板等。此外,也可以使用玻璃制的基板、FOP(Fiberoptical plate,纤维光学板)。

有机膜蒸镀方法

技术领域

图5A示出了本发明的实施例的闪烁体面板的制造工序。